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一、產品應用
變溫電阻率測試系統（RMS）采用四探針法技術，可在高低溫環境下對半導體材料、金屬材料（例如康銅、鎳、鉍）以及部分非金屬樣品（例如石墨、碳材料等）的電阻率進行測量。在材料科學研究、電子器件研發與質量檢測、超導材料研究方面均發揮了重要的作用。
二、產品特點
1. 變溫范圍廣，-190℃到 1200℃全覆蓋，且變溫過程中升降溫速率可控；
2. 測試精度高范圍廣，電阻測量范圍 1e-8Ω 到 1.2e+9Ω;
3. 測試數據量大且完整，變溫過程中持續采集，電阻率數據每秒采集 2 次?
三、產品參數
參數類型 | 項目 | 技術參數 | |||
基本參數 | 型號 | RMS-600 | RMS-1200 | ||
外觀尺寸 | 140m*120mm*42mm | ||||
樣品臺材質 | 純銀 | 氧化鋁陶瓷 | |||
樣品臺大小 | 30mm*20mm | Φ16mm | |||
腔體凈重 | 1kg | ||||
真空度 | ≤1Pa | ||||
溫度參數 | 溫度范圍 | -190℃到 600℃ | RT 到 1200℃ | ||
溫度分辨率 | 0.1℃ | ||||
控溫精度 | ±0.1℃ | ||||
最大加熱速率 | 50℃/min | 100℃/min | |||
最大冷卻速率 | -25℃/min | 自然降溫 | |||
加熱元件 | 加熱棒 | 鉑絲加熱器 | |||
溫度傳感器 | 鉑電阻 | S型熱電偶 | |||
電學參數 | 探針類型 | 固定探針 (探針前端位置和角度可調) | |||
調節方式 | 手動調節 | ||||
探針材質 | 鎢鋼或鈹銅 | ||||
探針數量 | 4個 | ||||
光學參數 | 觀察窗個數 | 1 | |||
正面觀察窗大小 | Φ41mm | Φ32mm | |||
窗片材質 | 石英 | ||||
整機參數 | 控制箱尺寸 | 350mm*350mm*150mm | |||
用電要求 | 220V/50Hz | ||||
控溫算法 | 二自由度PID | ||||
人機交互 | WinTemp-RMS | ||||
整機功率 | 200W | 400W | |||
電阻率測試參數 | 電阻率測試誤差 | ≤10% | |||
重復性測試誤差 | ≤3% | ||||
電阻率測量范圍 | 1e-8Ω 到 1.2e+9Ω | ||||
樣品尺寸要求 | L≥10mm W≤4mm T≥50nm (適用于與塊狀、片狀、絲材和帶基底的薄膜樣品) | ||||
四、測試結果
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